AALBORG气体质量流量计

AALBORG气体质量流量计

美国Aalborg, Aalborg气体质量流量计, Aalborg控制器

美国Aalborg Instruments & Controls, Inc成立于1972年，是世界上著名的气体质量流量计/控制器的生产厂家，其产品广泛用于微电子工艺、真空镀膜、 材料科学 、石油化工、医药、环保等领域。

产品特点：性价比高、响应速度快、可靠性高，易于集成、环路保护、备总量计数器

典型应用：CVD、PVD、刻蚀、等离子注入、溅射、ITO、玻璃镀膜、表面处理等镀膜工艺。

设计特点：
－刚性金属结构 
－流程范围从0开始到10sccm直到0到1000slpm 
－最大压力500psig（34.5Bar） 
－泄漏率1＊10-7氦气 
－NIST系统标定可追踪的证明 
－可倾斜的LCD读表 
－0-5Vdc或4-20mA信号输出 
－电路保护 
－可用作便携式的设备 
－0到100％比例显示 
－可配备流量计算机 
精度：±1.5％满量程，包括59H到77H的气体温度（15℃到25℃）和5到60psia（0.4到4.1bar）的压力。可选±1％满量程（标定精度），在给定的温度与压力值条件下。 
重复性：±0.5％满量程 
回应时间：实际流速±2％超过满量程25-100％一般2秒 
温度系数：0.15％满量程／℃ 
压力系数：0.01％满量程／psi（0.07bar） 
气体／周围温度：32H-122H（5℃-50℃） 
输出信号：0-5Vdc，最小1000Ω。4-20mA、0-250Ω回路电阻 
传感器输出：＋12Vdc；最大200Ω。＋24Vdc可选 
时间恒量：800ms 
气体压力：最大1000psig（70bar）。可选20psig（1.4bar） 
流体接触面材质：A：GFC铝系列为阳极电镀铝、316不锈钢、铜和氟橡胶圆环 
B：GFC17S，37S，47S，57S，67S，77S不锈钢系列：316不锈钢、氟橡胶圆环可选氯丁橡胶圆环。 
方位灵敏度：水平到垂直旋转低于15度；标准校准是在水平位置 
连接：GFC17和37：1／4"卡套螺纹VCR®或1／8"卡套可选（GFC17） 
GFC47：3／8"卡套螺纹 
GFC57：3／8"卡套螺纹 
GFC67：1／2"卡套螺纹 
GFC77：3／4"卡套螺纹 
VCR®或3／4"卡套可选（GFC77）