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测控组件主要由阀体组件、真空测量传感器两部分组成。
阀体组件(型号：GGCKZJ-III）
阀体组件是由∅28直通管道焊接口、CF25法兰盘、KF16法兰盘、两个超高真空手动阀以及阀体通道组成。
J1是阀体组件与抽真空机组的KF16连接口，当不对传感器抽真空(或者不连接抽真空机组）时此口用真空盲板连接。
J2是阀体组件与真空测量传感器的CF16连接口，当需要更换真空测量传感器时可通过此口简单快速的更换。
J3是阀体组件与设备连接的∅28连接口，当需要更换测控组件(或者检修设备）时可通过此口简单快速的操作。
K1手动阀是控制J/2连接口与J3连接口的通断，K2是控制K1手动阀腔体与J1连接口的通断。
阀芯采用全金属波纹管阀芯，阀体材质为不锈钢材质，焊接工艺为氩弧焊，能耐200℃的高温，其真空漏率为Q≤1×10-11Pa·m3·s-1。
其外形结构及3D立体图如图1、图2所示：(单位：mm)
