品牌:美国Agilent
起订:1台
安捷伦Turbo-V 2K-G 不仅是一台泵。该装置是专门为等离子溅射工艺精心设计的专用分子泵系统。其叶片级数和泵的整体结构均经过优化，可以工作在高流速的氩气氛围下和温度极高的环境中。V-2K G分子真空泵的特点为控制器集成于泵内、一体化的放空和吹扫阀以及免维护的轴承。所有这些特点使安捷伦 Turbo-V 2K-G 分子真空泵成为镀膜工业的最佳分子泵解决方案。
特点：
首款为薄膜沉积应用而专门设计的分子泵解决方案
目前性能最佳、最紧凑的装置。首个为最大限度提高系统生产率和正常运行时间而设计的完全集成化解决方案。
将涡轮分子泵、驱动器件、电源、MoniTorr、吹扫气装置和通信装置集于一身
通用电子器件接口和使用简单的控制软件模拟 I/O 信号和 RS232/RS485 接口为标准配置
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