分离装置有两个主吸附器，里面充满Ca-A型沸石，这样，一个吸附气体时，另一个可以释放气体，使系统可以连续工作，提高工作效率。辅助吸附器里面充满了Na-X型沸石。

分离的步骤如下:

  (1) 将过滤后的混合气体充人一个主吸附器中。这时，N₂几乎全部被吸附，而大部分SF₆气体可以穿过它到达液化系统。

液化系统由压缩机和冷却管组成。

(2) 在液化系统中，SF₆气体被压缩、冷却和液化。将液态SF₆储存到液化罐中，液化系统中剩余的气体是SF₆/N₂混合气体，再通过缓冲罐再次充人主吸附器。

  (3) 主吸附器内吸附的N₂和少量SF₆气体被充人辅助吸附器。SF₆气体被吸附，N₂就可以直接排放到大气中。实验测得最后直接排放到大气中的气体中SF₆气体的体积浓度仅为0.06μL/L，变压吸附法分离装置每分钟能处理气体13L，可以满足实际应用的要求。