微量油的测定方法有重量法、紫外分光光度法、红外分光光度法、荧光光谱法、比浊法、气相色谱法、高效液相色谱法、气相色谱一质谱连用技术等。常用的是重量法和分光光度法。采用重量法分析油含量，虽不受油种类的限制，但操作繁琐费时、灵敏度低，并会造成低沸点烷烃的损失，只适用于测定液体中质量浓度为10mg/L以上的含油样，测定浓度低的含油样的测定误差较大，重现性差。由于SF6气体中的含油量非常低，重量法的低灵敏度决定了它不适合测定气体中的含油量。紫外分光光度法和荧光法只能测定以芳香烃形式存在的油，不能测定以甲基、亚甲基形式存在的油。非分散红外法只能测定以甲基、亚甲基形式存在的油，不能测定以芳香烃形式存在的油。另外，紫外分光光度法没有一种特定的标准油，标准油的选择难度大，数据可比性差。在红外光谱法中，在红外光谱区波数为2930cm-1, 2960cm-1 , 3030cm-1处分别对油中亚甲基、甲基、芳香环中的C—H键有特征吸收，对任何一种油来说，这一吸收带几乎都相同，不受其他物质的干扰，且吸收量与样品中的油浓度成正比。由于SF6中矿物油的含量很低，采用红外光谱法可准确测定出SF6气体中的矿物油含量。
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